| 適用範圍:無塵室環境控制、無塵室AMC(Airborne Molecular Contamination)製程微污染控制、大氣環境及周界。 |
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| 適合測量微量CO, CO2, CH4, N2O, NH3, HF, HCL及H2O等 |
| 偵測極限由0.1 ppbv至10 ppbv(視氣體種類) |
| Off-Axis Integrated-Cavity Output紅外線光譜科技 |
| 19” Rack Mount機殼,可選配防水外殼 |
| 反應時間0.1秒至25秒(與偵測敏感度有關) |
| 內建取樣幫浦(可選配外部幫浦-縮短反應時間) |
| RS232, 4-20mA, Ethernet輸出 |
| 可搭配原廠圖控軟體使用 |
| 使用1/4” PFA取樣軟管 |
| 電源110-230VAC/50-60Hz, 80W |
| 重量約27kg |
| 美國進口 |
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